等離子體去除惡臭是通過兩個途徑實現的：一個是在高能電子的瞬間是高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學鍵，使其直接分解成單質原子或無害分子；另一個是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對電子而具有很強的活性）等作用下的氧化分解成無害產物。主要有下面幾個過程：

1、在高能電子作用下，強氧化性自由基O、OH、OH2的產生；

2、有機物分子受到高能電子碰撞被激發，及原子鍵斷裂形成小碎片基團和原子；

3、O、OH、HO2與激發原子、有機物分子、廢氣處理公司破碎的基團、其他自由基等發生一系列反應，有機物分子最終被氧化降解為CO、CO2、H2O。去除率的高低與電子能量和有機物分子結合鍵能的大小有關。

從除臭機理上分析，主要發生以下反應：

           H2O+O2、O2-、O2+——SO3+H2O

           NH3+O2、O2-、O2+——NOx+H2O

H2S去除率可達91.9％，NH3去除率可達93.4％，臭氣濃度去除率可達93.6％。

從上述反應來(lai)看，惡臭組分經(jing)過(guo)處理(li)后(hou)，轉(zhuan)變為NOx、SO2、CO2、H2O等小分子，在(zai)一定的(de)(de)濃(nong)(nong)(nong)度(du)下，各(ge)種(zhong)反應的(de)(de)轉(zhuan)化率(lv)均(jun)在(zai)95％以(yi)上，而(er)且惡臭濃(nong)(nong)(nong)度(du)較(jiao)低，因此產(chan)物的(de)(de)濃(nong)(nong)(nong)度(du)極低，均(jun)能被(bei)周邊的(de)(de)大氣所接(jie)受。